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在線面掃和單點檢測

MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實時的載流子壽命掃描。

樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統(tǒng)來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。

電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是*常用的一種應用方向，同樣，鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

還有許多其他的專門應用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。

特性

允許單片調(diào)查

配方的基礎測量

監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

優(yōu)勢在μ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。

用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓，包括材料制備，和各種工藝處理階段。

小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。優(yōu)勢是長時間的可靠性和測量結(jié)果的高精度。