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DS-2000/14K 無掩膜單面光刻機

1．技術(shù)特征

。采用 DMD 作為數(shù)字掩模，像素數(shù) 1024×768

。采用 14 倍縮小投影光刻物鏡成像。

。采用**技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)均明。

。具備對準(zhǔn)功能

。采用進口精密光柵、進口電機、進口導(dǎo)軌、進口絲杠實現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接，可適應(yīng) 100mm?100mm 基片。

。采用 CCD 檢焦系統(tǒng)實現(xiàn)整場調(diào)平、自動逐場調(diào)焦或自動選場調(diào)焦曝光。

2．技術(shù)參數(shù)

。光源：350W 球形汞燈（曝光譜線： i 線）或紫外LED；

。照明不均勻性：2%；

。物鏡倍率：14 倍

。曝光場面積：1mm×0.75mm

。光刻分辨力：1 μm

。工件臺運動范圍：X：100mm、 Y：100mm；

。工件臺運動定位精度：±0.65μm；

。調(diào)焦臺運動靈敏度：1μm；

。對準(zhǔn)精度：±2μm；

。調(diào)焦臺運動行程：6mm

。檢焦：CCD 檢測，檢測精度 2 微米

。轉(zhuǎn)動臺行程：±6°以上

。基片尺寸

。外徑: 。1mm—100mm，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（長）x450mm(寬) x830mm（高）

4．配置

（1）照明系統(tǒng)

。350W 直流汞燈（或 LED）、橢球鏡、準(zhǔn)直鏡、蠅眼透鏡組、場鏡組、365nm 濾光片、氣動快門、DMD（美國德州儀器）、冷卻風(fēng)扇。

。投影物鏡：縮小倍率 14 倍

。分辨力 1μm

（2）工件臺系統(tǒng)

。X 臺：電機驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠（日本 NSK）、導(dǎo)軌 2（日本 THK）、光柵（美國）

。Y 臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠（日本 NSK）、導(dǎo)軌 2（日本 THK）、光柵 2（美國）

。轉(zhuǎn)動臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜），轉(zhuǎn)動軸系

。Z 臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機構(gòu)

。承片臺：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）

（3）檢焦系統(tǒng)

。焦面光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件

（4）對準(zhǔn)系統(tǒng)

。對準(zhǔn)光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、對準(zhǔn)軟件

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統(tǒng)、軟件、計算機、監(jiān)視器（19 英寸液晶）、接口

（6）氣動系統(tǒng)

。電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表

（7）其他附件

。真空泵一臺(無油泵)

?？諌簷C一臺（靜音泵）

。管道