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用于缺陷分析和大型樣品研究的**納米計(jì)量工具

作為一款缺陷形貌分析的精密測(cè)量?jī)x器，其主要目的是對(duì)樣品進(jìn)行缺陷檢測(cè)。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20，這款全球*精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)。

*強(qiáng)大全面的分析功能

Park NX20具備****的功能，可快速幫助客戶(hù)找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶(hù)制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。****的精密度為您帶來(lái)高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專(zhuān)注于工作。與此同時(shí)，真正非接觸掃描模式讓探針尖端更鋒利、更耐用，無(wú)需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時(shí)間和**。。

即便是**次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作

ParkNX20擁有業(yè)界*為便捷的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無(wú)需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也不用為此而時(shí)時(shí)不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專(zhuān)注于解決更為重大的問(wèn)題，并為客戶(hù)提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析報(bào)告。

樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測(cè)量

NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測(cè)樣品的側(cè)壁和表面，并測(cè)量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所必備的。

對(duì)樣品和基片進(jìn)行表面光潔度測(cè)量

表面光潔度測(cè)量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來(lái)精確的失效分析和質(zhì)量保證。

高分辨率電子掃描模式

QuickStep SCM

*快的掃描式電容顯微鏡

PinPoint AFM

無(wú)摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡

CrN樣品所做的針尖磨損實(shí)驗(yàn)

**AFM測(cè)量

• 使用低噪聲Z探測(cè)器信號(hào)進(jìn)行臺(tái)階形貌測(cè)量。

• 在大范圍掃描過(guò)程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm。

• 沒(méi)有前沿或后沿過(guò)沖現(xiàn)象

• 終身無(wú)需校準(zhǔn)，減少設(shè)備維護(hù)成本

Park NX系列原子力顯微鏡

傳統(tǒng)的原子力顯微鏡

低噪聲XYZ位置傳感器

行業(yè)**的低噪聲Z軸探測(cè)器代替Z電壓作為形貌信號(hào)。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

自動(dòng)多點(diǎn)掃描

滑動(dòng)嵌入SLD鏡頭的自主固定方式

您只需滑動(dòng)嵌入燕尾導(dǎo)軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設(shè)計(jì)可將鏡頭自動(dòng)鎖定至預(yù)對(duì)準(zhǔn)的位置，同時(shí)與復(fù)位精度為幾微米的電路系統(tǒng)相連接。借助于相關(guān)性低的SLD，顯微鏡可精確成像并可準(zhǔn)確測(cè)定力-距離曲線。

高級(jí)掃描探針顯微鏡模式和選項(xiàng)的擴(kuò)展槽

只需將可選模塊插入擴(kuò)展槽便可激活高級(jí)掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設(shè)計(jì)，其生產(chǎn)線設(shè)備兼容性得到大大提高

高速24位數(shù)字控制器

所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進(jìn)行控制和處理。 該控制器是個(gè)全數(shù)字，24位高速控制器，可確保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理單元，該控制器也是納米成像和精確電壓電流測(cè)量的**選擇。嵌入式數(shù)字信號(hào)處理為原子力顯微鏡帶來(lái)更為豐富的功能，更好的解決方案，是高級(jí)研究員的**選擇。

XY和Z軸檢測(cè)器的24位信號(hào)分辨率

• XY軸（50 μm）的分辨率為0.003nm

• Z軸（15 μm ）的分辨率為0.001 μm

嵌入式數(shù)字信號(hào)處理功能

• 三通道數(shù)碼鎖相放大器

• 彈簧系數(shù)校準(zhǔn)（熱方法）

• 數(shù)據(jù)Q控制

集成式信號(hào)端口

• 專(zhuān)用可編程信號(hào)輸入/輸出端口

• 7個(gè)輸入端口和3個(gè)輸出端口