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Park NX10原子力顯微鏡的低噪聲Z探測器

• NX平臺的核心先進技術

• 業(yè)界無可比擬的超低噪聲

• 默認的形貌信號

Z軸探測器是全新NX系列原子力顯微鏡的核心技術之一。它是Park**的新型應變傳感器。憑借著0.2埃的超低噪聲一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲*低的Z軸探測器。超低噪聲讓Z軸探測器可作為默認的形貌信號，全新的NX系列原子力顯微鏡與前幾代的原子力顯微鏡的差異可輕易被觀察到。如果Z軸探測器的噪聲過高，用戶是無法觀察到藍寶石晶片的原子臺階的。Park NX系列原子力顯微鏡的Z軸探測器所發(fā)出的高度信號，其噪聲水平與Z軸電壓形貌相同。

• 針尖磨損更低=高分率掃描更長久

• 無損式探針-樣品接觸=樣品受損*小化

• 可滿足各種條件下對各種樣品進行非接觸式掃描

• 針尖磨損更快=模糊，低分辨率掃描

• 破壞性的探針-樣品接觸=樣品易受損

• 參數(shù)高依賴性

簡單的探針和樣品更換

獨有的設計能讓您輕易地用手從側面更換新的探針和樣品。借助安裝懸臂式探針夾頭中預先對齊的懸臂，無需再進行繁雜的激光校準工作。

閃電般快速的自動近針

自動的探針樣品進針功能能讓用戶無需進行干預操作。通過監(jiān)測懸臂接近表面的反應，Park NX10能夠在懸臂裝載后十秒內(nèi)開始并自動快速完成探針樣品進針操作。高速Z軸掃描器的快速信息反饋和NX電子控制器的低噪聲信號處理使得無需用戶干預就能快速接觸樣品表面。

憑借我們先進的預校準懸臂架，懸臂在裝載時SLD光便已聚焦完畢。此外，作為行內(nèi)**一家可以提供自上而下的同軸視角可以讓您輕松找到光點。由于SLD光垂直照在懸臂上，您可通過旋轉兩個定位按鈕直觀地在X軸Y軸移動光點。這樣您可以在激光準直頁面中輕易找到SLD光并將其定位在PSPD上。此時您只需要稍微調整到**化信號，便可開始獲取數(shù)據(jù)。

掃描范圍為50 μm x 50 μm 的2D掃描器

XY軸掃描器有對稱的二維高強度壓電疊堆。它可為進行精確的納米級樣品掃描，提供基本的面外高效正交運動和高響應能力。Park NX10的這種緊密剛硬的構造具備低噪聲高速的伺服響應能力。

低噪聲XYZ位置傳感器

行業(yè)**的低噪聲Z軸探測器代替Z電壓作為形貌信號。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

自動步進掃描

滑動嵌入SLD鏡頭的自主固定方式

您只需滑動嵌入燕尾導軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設計可將鏡頭自動鎖定至預對準的位置，同時與復位精度為幾微米的電路系統(tǒng)相連接。借助于相關性低的SLD，顯微鏡可精確成像并可準確測定力-距離曲線。

高級掃描探針顯微鏡模式和選項的擴展槽

只需將可選模塊插入擴展槽便可激活高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設計，其生產(chǎn)線設備兼容性得到大大提高

高速24位數(shù)字控制器

所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進行控制和處理。 該控制器是個全數(shù)字，24位高速控制器，可確保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設計和高速處理單元，該控制器也是納米成像和精確電壓電流測量的**選擇。嵌入式數(shù)字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方案，是高級研究員的**選擇。

XY和Z軸檢測器的24位信號分辨率

• XY軸（50 μm）的分辨率為0.003nm

• Z軸（15 μm ）的分辨率為0.001 μm

嵌入式數(shù)字信號處理功能

• 三通道數(shù)碼鎖相放大器

• 彈簧系數(shù)校準（熱方法）

• 數(shù)據(jù)Q控制

集成式信號端口

• 專用可編程信號輸入/輸出端口

• 7個輸入端口和3個輸出端口