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特點
共聚焦三維表面輪廓儀具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率，附有5百萬自動分辨率的CCD相機(jī)， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的理想配置。
技術(shù)參數(shù)
| 項 目 簡 述 | 參數(shù)說明 |
| 共聚焦三維表面輪廓儀 | l可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤共焦技術(shù) l具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率，附有5百萬自動分辨率的CCD相機(jī)， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的理想配置 l在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制 l應(yīng)用于透明層/薄膜 l兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC l長距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選 l高穩(wěn)定性 |
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