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DJ MicroLaminates成立于二零零九年，以銷售電子光刻膠材料技術(shù)，并提供產(chǎn)品開發(fā)，工藝開發(fā)服務(wù)和市場開發(fā)活動。由DJ MicroLaminates開發(fā)的產(chǎn)品有針對性的技術(shù)，以滿足先進(jìn)的MEMS制造和晶圓級封裝的需求。
DJ MicroLaminates目前開發(fā)的光刻膠干膜(TDFS)，是層壓板預(yù)切晶圓或基板尺寸。
SUEX TDFS
是感光厚環(huán)氧樹脂片，應(yīng)用于晶圓級封裝和MEMS。該片材由兩個被剝離的聚酯薄膜保護(hù)層（PET）中間包含的陽離子固化改性環(huán)氧樹脂的光阻構(gòu)成。環(huán)氧樹脂的光阻中含有無銻的光酸生成劑，并在一個嚴(yán)格控制的無溶劑的過程中制備，它能提供均已的涂層。該方法應(yīng)用于負(fù)性光阻的開發(fā)，該種光阻對在350-400nm的范圍內(nèi)的紫外線輻射敏感。
DJ MicroLaminates提供的產(chǎn)品是SUEX， SUEX Plus，以及ADEX系列的環(huán)氧樹脂負(fù)性光刻膠干膜，厚度范圍在5微米至超過1mm內(nèi)。干膜很容易層壓在基板表面，并可在幾分鐘內(nèi)預(yù)備使用。
SUEX適合并且與以下物質(zhì)有良好的粘合性：硅，氮化硅，銅，金，玻璃，聚合物和其它金屬和氧化物。
標(biāo)準(zhǔn)厚度：
100um，150um，200um，250um，350um，500um，650um，750um和1mm
一般儲存溫度：
使用之前，應(yīng)在21℃至25℃溫度中存放15-18小時，這樣為**效果，并易于加工。
SUEX/SUEX Plus/ADEX干膜光刻膠
1）總處理時間：小于5分鐘
2）**的厚度均勻性，邊緣無光
3）高熱穩(wěn)定性-高韌性
4）無銻化學(xué)環(huán)境，無材料浪費(fèi)
選擇干膜的優(yōu)勢
1）無需昂貴的勻膠和烘膠設(shè)備
2）對Fab環(huán)境要求較低
3）整片晶圓上厚度均勻
4）無需去邊工藝
5）100%平坦化（真空壓膜）
6）膠膜內(nèi)部成份分布均勻
7）適合UV和X射線曝光
8）高透過率
9）生產(chǎn)過程中減少了溶劑使用
10）綠色環(huán)保
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