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美國 Filmetrics
美國Filmetrics公司出品的F20 膜厚測量儀，可快速簡便的測量透光薄膜的光學參數(shù)(n，k值)，可在幾秒內(nèi)測量并分析薄膜的表層和底層的反射光譜得到膜厚，折射率參數(shù)。
軟件以及USB接口可輕易的將儀器與Window系統(tǒng)的電腦連接。軟件的數(shù)據(jù)庫預存100種以上材料的基本信息，利用這些已存信息可以測量多層結(jié)構(gòu)，用戶還可以通過擬合測量將新材料的光學系數(shù)存入系統(tǒng)以備今后應用。
測量條件：
薄膜：平整，半透明，吸光薄膜。例如：SiO2 SiNX DLC、光刻膠、多晶硅無定形硅，硅片；
基底層：平整，反射基底。如需測量光學系數(shù)，則需要平整鏡面反射基底，如果基片是透光的，基片背面需要做反光處理?？捎没桌纾汗杵?玻璃 鋁、GaAs 鋼 聚碳酸脂、聚合物薄膜
暫無數(shù)據(jù)！
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