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KLA Gemini壓痕力學測試系統(tǒng)

每時每刻用正確的答案對摩擦學進行突破性的改變

使用KLA公司的Gemini系統(tǒng)探索新命令的準確性，精確度和控制，這是世界上**臺用于研究納米級摩擦學和機械測試動力學的多維儀器。

準確性- Gemini提供****的自由，可以在多個方面探索接觸力學，因為它來自Nanomechanics，每次都對正確答案有強烈的信心。

精確度- Gemini的等軸測量軸實現(xiàn)了****的分辨率力范圍和動態(tài)性能，意味著正常軸和橫軸都能提供KLA所期望的精確度。

控制-使用Gemini系統(tǒng)的多軸功能有效地解決了硬度，磨損和粘附問題，Gemini系統(tǒng)是以****的分辨率準確研究摩擦學問題的必不可少的工具。

摩擦學+

單一的粗糙表征， 粘滑滑動 ，超薄膜 ，潤滑 ，阻尼 ，各向異性 ，泊松比 ，模數(shù) ，耐刮擦性 ，形貌 ，MEMS測試 ，附著力

準確的多維測量

**個提供等距力位移測量的工具，用于研究硬度，摩擦學，磨損和粘附性。

優(yōu)越的規(guī)格

多維動態(tài)性能

寬負載和位移范圍：50 mN和50μm

張力或壓縮：無過渡

快速時間常數(shù)：20μs，具有亞納米級噪聲

電磁激活：低漂移和動態(tài)精度

高載荷框架剛度：7e5 N / m

精確的屬性測量

亞納米分辨率的樣品階段補充了致動器，以產(chǎn)生高精度的靶向和壓痕測量。

控制橫向力

測量準靜態(tài)和動態(tài)模式下的力和位移，采用亞納米和納米牛頓分辨率。