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DM-8000微波等離子體CVD設(shè)備品牌
和瑞微波產(chǎn)地
四川樣本
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| （1） | 型號(hào) | DM-8000 |
| （2） | 電源 | AC380 V 三相五線(xiàn)制 50Hz， |
| （3） | 微波輸出功率 | 8kW ，2450MHz點(diǎn)頻 |
| （4） | 微波泄露 | ≤2mW/cm3@5cm |
| （5） | 功率穩(wěn)定度 | 1 %（@穩(wěn)態(tài)） |
| （6） | 有效沉積區(qū)域 | up to Φ 70 mm |
| （7） | 樣品臺(tái)直徑 | Φ120 mm |
| （8） | 極限真空度 | ≤5 ×1 0-1 P a |
| （9） | 真空漏率 | ＜1x10-9Pa.m3/s |
| （10） | 單晶生長(zhǎng) | 生長(zhǎng)速度10-15μm/H，單輪生長(zhǎng)厚度≥1.6mm |
| （11） | 單晶質(zhì)量 | 色度H，肉眼無(wú)瑕疵 |
| （12） | 氣體種類(lèi) | 標(biāo)配四路MFC：H2:1000sccm，CH4:100sccm，O2:10sccm，N2:5sccm；可擴(kuò)展為5路 |
| （13） | 壓強(qiáng)控制范圍 | 5-225 torr |
| （14） | 壓強(qiáng)控制精度 | ±0 . 1 T o r r |
| （15） | 冷卻水 | ＞65L/Min |
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