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微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng)品牌
成都華宇產(chǎn)地
四川樣本
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性能特點:
?**功率達(dá)到6kW ?微波反應(yīng)腔新型設(shè)計,功率密度大 ?產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高 ?采用水冷全金屬腔體 ?采用高效散熱的樣品臺 ?設(shè)備安全性高、耐用性高、可靠性強(qiáng) ?多參數(shù)實時監(jiān)測,PLC屏幕控制,簡捷的人機(jī)交互界面 |
暫無數(shù)據(jù)!