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等離子體修飾系統(tǒng)，利用三溫區(qū)管式爐，通過氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在藍寶石襯底上外延生長了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜。在生長過程中引入氧氣，不僅能夠阻止三氧化鉬源中毒，降低形核密度，而且還能減小硫空位密度，從而實現(xiàn)了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長。
利用等離子體修飾系統(tǒng)，在自限生長的前提下，目前已實現(xiàn)了兩英寸晶圓級高質(zhì)量單層二硫化鉬的外延生長（100%覆蓋度，成膜均勻），并通過改進轉(zhuǎn)移設(shè)備，實現(xiàn)了晶圓級薄膜的零污染且襯底無損轉(zhuǎn)移。單層二硫化鉬薄膜均勻覆蓋在整個藍寶石襯底上，而且沒有縫隙，沒有重疊層。 薄膜由晶粒尺寸為 1 微米，相對取向為 60 o的晶粒拼接而成。成型薄膜只包含 60 o晶界。
等離子體修飾系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢
1、避免固態(tài)源中毒；
2、成膜均勻性好；
3、成膜面積大；
4、快速、生長速度可控。
暫無數(shù)據(jù)！
國產(chǎn)電子束光刻機實現(xiàn)自主可控，是實現(xiàn)我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的重要一環(huán)。近日，澤攸科技聯(lián)合松山湖材料實驗室開展的全自主電子束光刻機整機的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目取得重大進展，成功研制出電子束光刻系統(tǒng)，實現(xiàn)了
六一國際兒童節(jié)即將來臨，澤攸科技在這個節(jié)日前夕，開展了一場別開生面的公益科普活動。今天澤攸科技自主研發(fā)的ZEM系列臺式掃描電鏡來到了西南交通大學(xué)分析測試中心，同時阿壩縣麥爾瑪中心校和查理鄉(xiāng)中心校的藏區(qū)
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