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面議型號(hào)
全自動(dòng)倒角機(jī)MET-5600品牌
江蘇晶工產(chǎn)地
江蘇樣本
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產(chǎn)品說(shuō)明
全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)MET-5600為半導(dǎo)體晶圓材料的邊形倒角設(shè)備，具有豐富的可選功能。設(shè)備具有高精度，高質(zhì)量磨削表面，極小料損，晶向定位準(zhǔn)確，運(yùn)行狀態(tài)穩(wěn)定等特點(diǎn)。設(shè)備兼容性強(qiáng)，直徑4寸、6寸、8英寸都可加工，適用于硅、磷化銦、砷化鎵、碳化硅、藍(lán)寶石、鍵合晶圓、玻璃晶圓等晶圓材料。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
靈活
① 可加工4-6-8英寸不同材料的晶圓
② 尺寸切換方便
③ 系統(tǒng)軟件可根據(jù)客戶工藝要求進(jìn)行設(shè)置
高精
自主研發(fā)的精密主軸精度可達(dá)1um
穩(wěn)定
自主研發(fā)的軟件系統(tǒng)采用非接觸式對(duì)中和測(cè)量方式，確保設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定。
加工規(guī)格多
預(yù)留9個(gè)小圖的空位
產(chǎn)品規(guī)格
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
晶圓尺寸 | 2-3-4-6英寸、4-6-8英寸（IF,OF,Notch） |
晶圓厚度 | 250um-1000um |
工位 | 雙工位 |
晶圓參考面形狀 | R形、雙R形、T型、臺(tái)階狀等 |
設(shè)備尺寸和重量 | L2200×W1500×H2200mm；3000kg |
磨削X/Y/Z軸精度 | X.Y.Z軸精度：±1um |
陶瓷吸盤(pán)平面精度：±3um | |
吸盤(pán)軸徑向精度：±1um | |
砂輪軸徑向精度：±1um | |
砂輪外徑溝部 | φ200mm |
砂輪外徑 | φ202mm |
砂輪安裝內(nèi)徑 | φ30mm |
砂輪厚度 | 20mm |
砂輪轉(zhuǎn)速 | 4000r/min或8000r/min（根據(jù)客戶要求選擇） |
Notch砂輪轉(zhuǎn)速 | 50000r/min或160000r/min（根據(jù)客戶要求選擇） |
校正機(jī)構(gòu) | |
測(cè)量方式 | 非接觸式或機(jī)械測(cè)厚（根據(jù)客戶要求選擇） |
分辨率 | 1μm |
對(duì)中精度 | 20μm |
清洗機(jī)構(gòu) | |
清洗方式 | 旋轉(zhuǎn)清洗 |
干燥方式 | 離心干燥 |
裝載機(jī)構(gòu) | |
類型 | 卡塞裝載 |
裝載工位 | 4盒 |
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