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面議型號
Theta Flow Wafer品牌
芬蘭百歐林Biolin/Attension產(chǎn)地
芬蘭樣本
暫無測量范圍：
誤差率：
分辨率：
重現(xiàn)性：
儀器原理：
其他分散方式：
測量時間：
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Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測量儀主機(jī)，可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。
晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關(guān)重要，這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度，研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用，*終提高電子設(shè)備的性能和可靠性。
應(yīng)用
? 研究表面清潔度
接觸角測量可以評估晶圓的清潔度，從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況。
? 確定表面自由能
通過測量接觸角，可以推斷出表面自由能，這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。
? 了解粘附性能
接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。
? 研究親水性/疏水性
測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水，從而影響光刻和蝕刻等工藝。
? 用于質(zhì)量控制
定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分，以確保晶圓加工和處理的一致性。
支持晶圓接觸角測量的軟件功能
? 批量模式，用于對一排多個晶圓進(jìn)行快速測量。
? 標(biāo)準(zhǔn)座滴法，可進(jìn)行更深入的分析。
晶圓自動旋轉(zhuǎn)臺
Theta系列晶圓樣品臺是一種由軟件控制的電動平臺，用于旋轉(zhuǎn)晶圓，以實(shí)現(xiàn)直徑高達(dá)12英寸晶圓的接觸角自動定位測量。
Theta系列晶圓樣品臺包括旋轉(zhuǎn)臺（T340R）和晶圓臺面（T340RW）。晶圓臺面的插銷有助于晶圓的高精度對準(zhǔn)和定位。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢?。為了進(jìn)一步固定晶圓，還可以通過內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵。
Theta系列晶圓樣品臺連接到自動XYZ樣品臺，可以自動定位直徑高達(dá)12英寸的晶圓。為了**限度地提高旋轉(zhuǎn)臺的性能，建議將其與四個可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用。這將允許自動進(jìn)行表面自由能測量，或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測量次數(shù)。
晶圓接觸角測量儀
| 測量參數(shù) | 表面張力，界面張力，接觸角，表面自由能 |
| 相機(jī)分辨率上限(像素) | 2592*2048(5 MP) |
| 拍照速度上限（FPS） | 3422 |
| 旋轉(zhuǎn)移動范圍 | 0-360° |
| **轉(zhuǎn)速 | 180°/s |
| 分辨率 | 0.005° |
| 精度 | ±0.1° |
樣品規(guī)格
| 適合的樣品尺寸 | 2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓 |
| **樣品重量 | 500g |
其他
| 真空泵連接 | 是 |
| 接觸角的自動定位 | 是 |
Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow Wafer光學(xué)接觸角測量儀主機(jī)，可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。
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Biolin Theta系列 晶圓接觸角測量儀高端晶圓全自動接觸角測量儀器我們很高興與您分享我們Theta系列高端光學(xué)接觸角儀的最新消息。Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶
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