非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結氣氛:
其他溫控精度:
-最高溫度:
-額定溫度:
-看了立式擴散爐的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
超大規(guī)模集成電路制造設備,工藝時間短,生產(chǎn)效率高,具有出色的工藝性能達到**。
應用領域
◎ VLSI集成電路制造
產(chǎn)品優(yōu)勢
◎晶片(片/批次)150片
◎ 晶片高速搬送系統(tǒng),實現(xiàn)高吞吐量
◎ 精密的熱場控制,氣體控制系統(tǒng)
◎ 工藝周期短,生產(chǎn)效率高
外形尺寸及重量
◎ 外形尺寸(參考):4330mm*900mm*3305 mm(長*寬*高)
◎ 重量:2500Kg
暫無數(shù)據(jù)!