中國粉體網(wǎng)訊  3月6日，無錫卓瓷科技有限公司（簡稱：卓瓷科技）與東湖高新區(qū)簽約，將在光谷落地卓瓷科技武漢研發(fā)生產(chǎn)基地項目。

此次簽約項目落戶東湖綜保區(qū)，卓瓷科技將投資設(shè)立華中區(qū)域子公司，生產(chǎn)核心零部件靜電卡盤、陶瓷加熱器等產(chǎn)品，服務(wù)武漢及周邊晶圓制造商。

據(jù)公開資料顯示，卓瓷科技成立于2021年，專注于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域陶瓷部件研發(fā)與生產(chǎn)，所生產(chǎn)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體(集成電路)、液晶面板、納米材料、電子醫(yī)療、航空航天等多行業(yè)領(lǐng)域。卓瓷科技核心團隊在半導(dǎo)體、液晶顯示、新能源等領(lǐng)域有著豐富的經(jīng)驗，公司先后與多所高等院校、研究所等展開深入的合作，產(chǎn)學(xué)研合作涵蓋了公司現(xiàn)有及未來布局的大部分材料體系，針對氧化釔結(jié)構(gòu)件及噴涂、氮化鋁、導(dǎo)電陶瓷、低介電損耗陶瓷、碳化硅等先進陶瓷粉末材料；靜電吸盤、加熱器、APS、PVD涂層等核心零部件領(lǐng)域布局研發(fā)戰(zhàn)略。其產(chǎn)品已進入華為等國內(nèi)一流廠商，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示面板設(shè)備等，半導(dǎo)體業(yè)務(wù)占比約80%。

卓瓷科技部分產(chǎn)品

目前，靜電吸盤廣泛應(yīng)用于集成電路制造工藝中，特別是刻蝕、PVD、CVD等核心工藝中，這其中的各個工序均需要保證晶圓的平穩(wěn)固定，都需要靜電卡盤進行夾持。陶瓷加熱器應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備（CVD、PECVD、ALD）、激光退火設(shè)備的工藝腔室內(nèi)，與晶圓直接接觸，承載并使晶圓獲得穩(wěn)定、均勻的工藝溫度及成膜條件。

隨著全球晶圓廠的持續(xù)擴張，全球半導(dǎo)體設(shè)備及零部件保持快速增長，國內(nèi)半導(dǎo)體陶瓷零部件市場規(guī)模增速高于全球，弗若斯特沙利文預(yù)計2026年市場規(guī)模將達到125億元，但目前國內(nèi)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)陶瓷零部件市場國產(chǎn)化率僅19%。其中，國內(nèi)高端陶瓷零部件陶瓷加熱器和靜電卡盤市場均有約30億的空間，國產(chǎn)化率不足10%，國產(chǎn)替代空間巨大。

來源：中國光谷、卓瓷科技官微/官網(wǎng)、江蘇直通車

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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