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硫化爐

技術(shù)參數(shù)

額定功率(KW)：3

額定電壓(V)：AC220v  50/60 Hz

**溫度(℃)：1200（1 hour）

持續(xù)工作溫度(℃）：1100

升溫速率（℃/min）：≤50

爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1200mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度（mm）：440mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度（mm）：200mm  

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度(℃)：±1

加熱元件：電阻絲

供氣系統(tǒng)GMF-3Z

（質(zhì)子流量計(jì)）

重量：35Kg

外形尺寸：600x600x650mm

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根據(jù)用戶要求定制）

準(zhǔn)確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

**壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體             

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

低真空機(jī)組VAU-02

空氣相對(duì)濕度≤85%，

工作電電壓：220V±10%  50~60HZ 

功率：1千瓦

抽氣速率：4L\s

極限真空：4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

進(jìn)氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉(zhuǎn)速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸：600×600×600mm