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一、設(shè)備組成

滑軌進(jìn)料系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、組合型收集系統(tǒng)、預(yù)熱及真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng)。

1、叉車式進(jìn)料系統(tǒng)：

軌道滑動(dòng)式進(jìn)出料模式，配備5層加熱托盤支架每一層2個(gè)托盤且上下左右密封，且每一層支架配備加熱元器件，加熱溫度可控，且托盤可從托盤支架上自由裝/卸。每一層托盤支架外側(cè)配備進(jìn)氣口，給腔體提供氣流導(dǎo)向。門板與腔體之間采用加裝護(hù)照和石墨密封，即可防止材料沉積到門板上，也可維持基礎(chǔ)真空。

2、加熱系統(tǒng)

加熱腔體采用氧化鋁陶瓷纖維制品與加熱絲一體成型設(shè)計(jì)，金屬內(nèi)腔體，測溫元件采用K型熱偶，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號。

3、組合型收集系統(tǒng)

收集區(qū)由兩個(gè)收集腔體組成，與加熱腔體連接處的部分，配備加熱系統(tǒng)，溫度可控。另外一節(jié)收集腔體，配備可滑動(dòng)裝置，方便收集腔體取料、拆卸、清理。收集管底部配備風(fēng)冷系統(tǒng)，尾端配備艙門以及排氣接口與機(jī)械泵連接。

4、預(yù)熱及真空系統(tǒng)

進(jìn)氣系統(tǒng)配備預(yù)熱裝置，預(yù)熱的氣體從裝料托盤進(jìn)氣口接入、經(jīng)過主加熱腔體再從收集

管道排出。設(shè)備配備機(jī)械泵和電阻真空計(jì)，并含有配套使用的波紋管，手動(dòng)擋板閥，卡箍等連接部件。

5、工控及操作系統(tǒng)

配備15寸工控屏，集加熱、真空、數(shù)據(jù)處理等控制為一體。

二、產(chǎn)品特色

1、軌道滑動(dòng)式進(jìn)出料模式，配備載料托盤，可通過跟換托盤來實(shí)現(xiàn)連續(xù)升華；

2、每層托盤都配備加熱系統(tǒng)，且溫度可控，溫場均勻；

3、配備氣體引流系統(tǒng)，輔助材料升華后沉積到收集區(qū)；

4、采用觸摸屏控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動(dòng)記錄；

5、設(shè)備集成化設(shè)計(jì)、以及集成化管理，美觀方便。

三、技術(shù)參數(shù)