
布勞恩惰性氣體系統(tǒng)(上海)有限公司

已認證
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鈣鈦礦材料因其優(yōu)異的光電性能成為太陽能光伏領域的研究熱點,但易揮發(fā)有機組分(如甲基碘化銨MAI)的沉積難題長期制約其產(chǎn)業(yè)化進程。針對這一技術瓶頸,PEROvap真空鍍膜系統(tǒng)應運而生,通過創(chuàng)新設計為科研與生產(chǎn)提供穩(wěn)定可控的沉積環(huán)境。
01
突破傳統(tǒng)工藝限制
傳統(tǒng)真空沉積工藝在鈣鈦礦材料處理中面臨顯著挑戰(zhàn):甲基碘化銨MAI等鈣鈦礦材料即使在常溫下也易二次揮發(fā),導致薄膜均勻性差、器件性能參差不齊。PEROvap通過專利環(huán)境控制技術,在沉積過程中精確調控溫度與真空度,抑制材料的非預期再蒸發(fā),確保薄膜成分與結構的穩(wěn)定性和均勻性。
02
核心技術優(yōu)勢
擁有專利技術的超低溫蒸發(fā)源ULT
最多可配置8個蒸發(fā)源 (可實現(xiàn)共蒸)
適配M12硅片(210×210mm2)及定制化大尺寸基底
高穩(wěn)定性 & 高重復性 & 高均勻性
可集成于手套箱(O?/H?O<1ppm)
自動化兼容接口(機械臂/集群系統(tǒng))
03
推動產(chǎn)業(yè)化進程
憑借MBRAUN先進的工程設計經(jīng)驗和在真空沉積技術領域的深厚積累,PEROvap為研究人員提供了精準可靠的鈣鈦礦材料沉積解決方案。憑借專利級環(huán)境控制技術,攻克鈣鈦礦材料易二次揮發(fā)、成膜不均等行業(yè)痛點。通過簡化操作流程、提升工藝容錯率,顯著降低鈣鈦礦器件開發(fā)門檻。無論是實驗室級樣品制備還是中試產(chǎn)線驗證,該系統(tǒng)均能提供可靠的數(shù)據(jù)支持和生產(chǎn)過渡方案。
以下為一些應用案例:
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