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            河南創(chuàng)合實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司
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            產(chǎn)品詳情
            1200-PE60 PECVD系統(tǒng)
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            關(guān)注度:
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            樣本:
            暫無
            型號:
            產(chǎn)地:
            河南
            信息完整度:
            典型用戶:
            暫無
            額定溫度:
            ..
            非金屬電熱元件:
            其他
            金屬電熱元件:
            其他
            燒結(jié)氣氛:
            其他
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            產(chǎn)品簡介

            1200-PE60 PECVD系統(tǒng)

            PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積(CVD)反應(yīng)溫度降低,在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離,形成等離子體,利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),所以這個(gè)系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)。    該型號PECVD綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn),在PECVD前端加入了氣體預(yù)熱區(qū),實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂。

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