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高級(jí)會(huì)員 第 4 年
名 稱：河南創(chuàng)合實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司認(rèn) 證：工商信息已核實(shí)
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1200-PE60 PECVD系統(tǒng)
PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，所以這個(gè)系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。 該型號(hào)PECVD綜合了國(guó)內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，在PECVD前端加入了氣體預(yù)熱區(qū)，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。
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