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瑞典Mycronic 掩膜計(jì)量系統(tǒng)Prexision-MMS

詳細(xì)介紹

掩膜計(jì)量系統(tǒng)

主要優(yōu)勢(shì)

*更佳的配準(zhǔn): 30%

*更好地將掩膜套合到掩膜上: 20%

*更短的周轉(zhuǎn)時(shí)間: 30%

。 **的創(chuàng)新性Prexision平臺(tái)具備優(yōu)異的精準(zhǔn)度與可重復(fù)性

。 用我們的**技術(shù)改善配準(zhǔn)測(cè)量。

。因?yàn)?*次測(cè)量的結(jié)果精確無(wú)誤，這大大給您節(jié)省了周轉(zhuǎn)時(shí)間。

。 充分發(fā)揮我們的Prexision光刻機(jī)的潛力。

基于*精確的Prexision平臺(tái)打造出的Prexision-MMS將對(duì)大面積的配準(zhǔn)測(cè)量帶到了全新的高度?，F(xiàn)在，您可以證明您的光掩膜質(zhì)量究竟有多好了！

為充分利用其性能，您的測(cè)量系統(tǒng)性能對(duì)于精密調(diào)校光刻機(jī)也是極其重要的，這樣您的光掩膜才能以**的質(zhì)量描繪出來(lái)。

Prexision-MMS 提供兩個(gè)型號(hào)。G8型**可處理用于8代顯示器玻璃尺寸的掩模尺寸。對(duì)于G10型，**可處理11代顯示器尺寸。

技術(shù)指標(biāo) Prexision-MMS

掩膜對(duì)掩膜套合3σ[nm] : 40

配準(zhǔn)3σ[nm] : 65

關(guān)鍵尺寸可重復(fù)性3σ[nm]: 50

**尺寸: G8