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應(yīng)用：

◆ 硅片、化合物、半導(dǎo)體及透明材質(zhì)產(chǎn)品表面缺陷的檢查分析。

技術(shù)參數(shù)：

KLA-Tencor Candela CS10表面缺陷檢測設(shè)備是針對半導(dǎo)體行業(yè)的表面缺陷的檢查分析儀器。該設(shè)備利用激光掃描樣品的整個(gè)表面，通過4個(gè)頻道（散射光頻道、反射光頻道、相移頻道及Z頻道）的探測器所收集到的信號(hào)，快速的將缺陷（包括微粒、劃傷、坑點(diǎn)、污染、痕跡等）進(jìn)行分類，統(tǒng)計(jì)每一種缺陷的數(shù)量并且量測出相應(yīng)的缺陷尺寸，*后給出整個(gè)表面的缺陷分布圖以及檢測報(bào)告。根據(jù)預(yù)先設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)，可以給出檢測樣品合格與否的判斷。

主要特點(diǎn)：

◆ 標(biāo)準(zhǔn)夾具從2英寸到8英寸的樣品，也可按需訂制；

◆ 可用于透明的材料的表面缺陷檢測；

◆ 可偵測的缺陷類型：顆粒，劃傷，突起，凹坑，水漬等；

◆ 手動(dòng)（CS10）和自動(dòng)傳輸模式（CS20）；

◆ 雙激光系統(tǒng)；

◆ 小顆粒的高靈敏度（80nm）；

◆ 強(qiáng)大的自動(dòng)缺陷分類、統(tǒng)計(jì)分布和判別軟件。缺陷分布圖以及檢測報(bào)告內(nèi)的每一個(gè)缺陷都有4個(gè)頻道拍到的照片儲(chǔ)存在設(shè)備內(nèi)部，這些照片可以輔助技術(shù)人員分析缺陷的成因及進(jìn)行相關(guān)驗(yàn)證?？赏瑫r(shí)進(jìn)行粗糙度、平坦度及膜厚均勻度的量測。其缺陷監(jiān)測功能可以應(yīng)用到不同的制程；

◆ 顆粒檢測-幾乎應(yīng)用于所有制程的監(jiān)測；

◆ 液體殘留-應(yīng)用于清洗及研磨；

◆ 表面粗糙度、平坦度- 應(yīng)用于研磨拋光；

◆ 膜厚均勻度-應(yīng)用鍍膜工藝。

◆ 內(nèi)部的過濾器可以保證內(nèi)部的潔凈環(huán)境為10級(jí)，防止內(nèi)部污染的同時(shí)該儀器還能長期保持穩(wěn)定準(zhǔn)確。擁有優(yōu)秀的售后服務(wù)保障體系。