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Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

應(yīng)用范圍：用于常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量

根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110的非接觸式和無損成像(μPCD / MDP(QSS))、光電導(dǎo)性、電阻率和p/n檢查。

晶圓切割，爐內(nèi)監(jiān)控，材料優(yōu)化等。

日常壽命測量，質(zhì)量控制和檢驗(yàn)◆產(chǎn)量：>240塊/天或>720片/天

◆測量速度：對于156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠，<4分鐘

◆生產(chǎn)改善：1mm切割標(biāo)準(zhǔn)為156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠

◆質(zhì)量控制：用于過程和材料的質(zhì)量監(jiān)控，如單晶硅或多晶硅

◆污染測定：起源于爐和設(shè)備的金屬(Fe)

◆可靠性：模塊化和堅(jiān)固耐用的工業(yè)儀器，更高的可靠性和運(yùn)行時間> 99%

◆可重復(fù)性:> 99.5%

◆電阻率：不需要經(jīng)常校準(zhǔn)

精密材料研發(fā)

鐵濃度測定

陷阱濃度測定

硼氧測定

依賴于注入的測量等

特性

完全無觸點(diǎn)無破壞的半導(dǎo)體特性

特殊的“表面之下”壽命測量技術(shù)

不可見缺陷的靈敏度的可視化

自動切割標(biāo)準(zhǔn)定義

空間分辨p/n電導(dǎo)型變換檢測