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一體式垂直氣流碳化硅外延設(shè)備品牌
芯三代產(chǎn)地
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技術(shù)優(yōu)勢(shì)
設(shè)備擁有完全獨(dú)立的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，具有差異化的進(jìn)氣方式、垂直氣流和溫場(chǎng)控制技術(shù)，輔以全自動(dòng)上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤等手段，實(shí)現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術(shù)指標(biāo)和性能，在高產(chǎn)能、8/6吋兼容、CoO成本、長時(shí)間多爐數(shù)連續(xù)自動(dòng)生長控制、低缺陷率、維護(hù)便利性、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢(shì)。
工藝性能
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