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       在半導(dǎo)體設(shè)備制造中，精密陶瓷作為關(guān)鍵部件材料，扮演了重要角色。

　　在眾多陶瓷材料中，氧化鋁陶瓷（以Al2O3為主體的陶瓷材料）具有材料結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，機(jī)械強(qiáng)度高，硬度高，熔點(diǎn)高，抗腐蝕，化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)良，電阻率大，電絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)，在半導(dǎo)體設(shè)備中應(yīng)用廣泛。

　　目前的等離子晶圓刻蝕機(jī)腔室，主要采用高純氧化鋁（Al2O3）涂層或氧化鋁陶瓷作為刻蝕腔體和腔體內(nèi)部件的防護(hù)材料。等離子刻蝕腔體材料決定了晶圓的良率、質(zhì)量、刻蝕工藝的穩(wěn)定性等。

　　除了腔體以外，等離子體設(shè)備的氣體噴嘴，氣體分配盤和固定晶圓的固定環(huán)等也需用到氧化鋁陶瓷。

　　再例如在晶圓拋光工藝中，氧化鋁陶瓷可被廣泛應(yīng)用于拋光板、拋光磨墊校正平臺、真空吸盤等。

　　氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂在半導(dǎo)體設(shè)備中起到搬運(yùn)作用，它相當(dāng)于半導(dǎo)體設(shè)備這個(gè)機(jī)器人的手，負(fù)責(zé)搬運(yùn)晶圓硅晶片到指定位置。因?yàn)榫A硅晶片極其容易受到其他顆粒的污染，所以一般在真空環(huán)境下進(jìn)行。

　　氧化鋁陶瓷和碳化硅陶瓷都具備致密質(zhì)、高硬度、高耐磨性的物理性質(zhì)，以及良好的耐熱性能、優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度、高溫環(huán)境仍具有良好的絕緣性、良好的抗腐蝕性等物理性能，是用于制作半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)械手臂的絕佳材料。

　　從材料性質(zhì)來看，碳化硅陶瓷用于制作陶瓷機(jī)械手臂較為合適，但是從材料價(jià)格、加工難度等經(jīng)濟(jì)方面來說，氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂的性價(jià)比更高。