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海德堡Heidelberg 高級大型2D，3D直寫光刻機DWL 8000

大面積瞄寫系統(tǒng)：DWL 8000

搭配海德堡的精密軟件控制可以讓您在大面積范圍中，也可以瞄寫2維和3維圖形的DWL 8000系列，是針對微光學領域的2維和3維的微構造形式所制作。

對于激光圖形生成器，MEMS，Displays 和sensors 都有加寬，加高的設計。DWL 8000精確的溫度控制，動態(tài)的焦點追蹤，closed loop位置決定，確保**布置和完全覆蓋性的直寫范圍。

DWL 8000多年的經(jīng)驗累積，使Gray Scale曝光技術，可以更有效率于更小的系統(tǒng)上直寫更大的區(qū)域范圍。在使用高分辨率技術掩模板上，使用曝光強度經(jīng)過調(diào)整的激光，可在連續(xù)表面上形成1個復雜的3維樣式。

主要功能：

。*小描繪尺寸：0.7um

。*小直寫尺寸：20nm

。5種描繪模式

?？赊D(zhuǎn)換成自動描繪模式

。進階3維繪畫方式

。里測/校直用照相機系統(tǒng)

。選擇線上（Online）傳送繪畫數(shù)據(jù)

。自動基板加載系統(tǒng)

。多種多樣的繪畫數(shù)據(jù)輸入格式（DXF，CIF，GDSLL，Gerber，STL）

。Stage Map補正

。Edge detectof unit

應用范圍：

。Micro-optics

。MEMS

。Display

。Micro-sensor