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SVT 熱蒸發(fā)源種類(lèi)繁多，覆蓋了絕大多數(shù)材料。包括CsI，S，Se等各種材料
SVT生產(chǎn)MBE設(shè)備已有超過(guò)20年的經(jīng)驗(yàn)，其蒸發(fā)源具有很高的穩(wěn)定性和可控性。
源可以制造成各種形狀、尺寸并具有**溫度范圍。
SVT可以為您提供*合適的源，用于太陽(yáng)能電池領(lǐng)域或OLED領(lǐng)域。
每一個(gè)熱源都是超純材料制造的，避免污染真空生長(zhǎng)室。
源在運(yùn)到客戶之前都經(jīng)過(guò)全面的檢測(cè)和標(biāo)征。
SVT熱源具有太陽(yáng)能電池工藝及OLED工藝所需要的大容量、可控、穩(wěn)定等特點(diǎn)。
特點(diǎn)
穩(wěn)定性高
容量大
溫度范圍廣，適于生長(zhǎng)各種材料
用高純材料制作，消除污染的可能性
各種坩堝形狀，適于客戶所需的各種**束流形狀
型 號(hào) | * 佳 溫 度 范 圍 | 尺 寸 |
SVTA-DF-雙燈絲熱源 | 600 oC-1，600 oC | 85cc，150cc，500cc， 1，000cc |
SVTA-LTDF-低溫雙燈絲熱源 | 400 oC-1，000 oC | 85cc，150cc，500cc， 1，000cc |
SVTA-VViking熱源（Ga、In） | 800 oC-1，400 oC | 60cc，80cc，150cc，500cc |
SVTA-EXCEL-Excel熱源（有機(jī)材料） | 100 oC-600 oC | 85cc，150cc，500cc， 1，000cc |
源溫度穩(wěn)定性 | +/- 0.1 oC |
溫度重復(fù)性 | +/- 0.1 oC |
接口法蘭 | 60cc，80cc，85cc：4.5’’(DN63) CF 法蘭 150cc，500cc：6.0’’(DN100) CF 法蘭 1，000cc：8.0’’(DN150) CF 法蘭 |
真空室內(nèi)長(zhǎng)度 | 12’’(10’’-14’’可客戶定制) |
真空室內(nèi)直徑 | 60cc: 2.135’’ (54mm) 80cc: 2.100’’ (53mm)85cc: 2.290’’ (58mm) 150cc: 2.630’’ (67mm) 500cc: 3.540’’ (90mm) 1，000cc: 5.500’’ (140mm) |
熱偶類(lèi)型 | <1，000 oC**：K型 >1，000 oC**：C型 |
電接插件 | 燈絲：Amphenol環(huán)形燈絲 T/C:Omega亞微型 |
烘烤溫度 | 200oC |
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