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        Tergeo等離子清洗機
        Tergeo等離子清洗機

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        German First-Nano System 德國韋氏納米

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        Tergeo等離子清洗機

        特 征:

        ● 模式:直接浸泡式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性;

        遠程等離子體可以輕微的清除表面污染,如SEM/TEM樣 品清洗

        ● 操作:自動配方執(zhí)行;自動作業(yè)順序執(zhí)行;亦手動控制

        ● 等離子傳感器:雙等離子強度傳感器(**申請中)實時監(jiān)測

        等離子源和遠程等離子源且等離子強度實時顯示LCD觸摸屏上

        ● 先進工藝控制:壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計、雙等離子強度傳感器、自動阻抗匹配

        ● 腔體材料:鋁法蘭,石英腔體

        ● 石英腔體尺寸:內(nèi)徑:110mm;深280mm

        ● 樣品架:2mm厚高純度石英板

        ● 射頻天線:外部射頻電極和天線設計減少了內(nèi)部金屬電極 在等離子清洗機中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題

        ● 射頻功率:13.56mhz射頻電源,自動阻抗匹配

        射頻功率有兩種選擇:0-75watt和0-150watt

        ● 工藝氣路:高達三個MFC氣路

        ● 用戶界面:7寸電阻式觸摸屏

        ● 軟件:總共20個可定制的配方。每個工藝多達三個步驟

        Direct & downstream 清洗模式

        典型的應用:

        • 引線鍵合倒裝芯片底部填充,器件的封裝和解封

        • 光刻膠灰化、除渣、硅片清洗

        • PDMS/微流控/載玻片/芯片實驗

        • 去除的掃描電鏡/電鏡樣品上碳氫污染物

        • 改善金屬與金屬或復合材料的結合

        • 改善塑料、聚合物和復合材料的粘接

        PDMS/玻璃鍵合的應用筆記

        Recipe :

        PDMS bonding: RF power 15Watt

        RF pulse duty ratio: 10% to 20%Gas: Room air

        Flow rate: 5sccm

        Time: 30~60 seconds

        Figure 1 經(jīng)過等離子體處理后,PDMS立即與玻璃結合,界面截留的氣體被自動擠出,無需在烤箱里固化PDMS/玻璃膠幾個小時。

        Figure 2,粘合一分鐘后,用戶試圖測試PDMS/玻璃粘合度,由于粘合非常牢固,即使由于強大的拉力部分PDMS被撕掉之后,PDMS/玻璃粘合界面仍然完好無損。

        我公司專業(yè)銷售PIE Plasma 產(chǎn)品,并提供PIE Plasma產(chǎn)品的售前售后服務,如您對PIE Plasma產(chǎn)品感興趣,歡迎前來咨詢!

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        10分

        性價比

        10分
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