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PMGI/LOR剝離光刻膠

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Sinton Instruments+BCT400+少子壽命測試儀

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單點硅片壽命測試MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀

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束蘊儀器（上海）有限公司

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美國Laurell勻膠機650-8N

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邁可諾技術有限公司

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Helios DualBeam™掃描電子顯微鏡

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廣東正業(yè)科技股份有限公司

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KLA-Tencor Candela CS10/CS20表面缺陷檢測設備

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紫外掩膜曝光機

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German First-Nano System 德國韋氏納米

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北京歐屹科技有限公司

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RSP-6000 平板式PVD

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邁可諾技術有限公司

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